深紫外(DUV)镀膜
主要的工作波长:
193nm 的AR/ HR
266nm的AR/ HR
用于355nm和激光镀膜的AR/HR
能够提供193~355nm的定制镀膜
主要的镀膜材料:
HfO2, LaF2, Al2O2, SiO2, MgF2
基材:
透镜, 棱镜, 窗片等.
材料： UV级FS
典型尺寸：2mm-150mm
193nm AR和HR镀膜： | |
193nm的增透率 (T>98.5% AOI:0°)
| 193nm的高反射率 (R>96% AOI:0°)
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266nm和308nm的高反射镀膜： | |
266nm的高反射率 (R>99.5%, AOI: 0°) | 308nm的高反射率（随机>99.5%，AOI：45°）
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355nm的激光镀膜： | |
355nm的吸收测试站
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高反射镀膜在355nm（<100ppm）内测试时的吸收
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355nm的LIDT测试站
| 355nm（10J/cm²,10ns，10Hz，由Spica测试的样品）的高反射镀膜激光原位测试
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功能特点
